だいぶ前になりますが、vb.netでコントロール配列を
作成したのでその時の方法などを残しておきます。

例えば、テキストボックスを３つ、コントロール配列として作成するとします。
まず、変数を宣言しておきます。

Friend txtText(3) As TextBox

そして、フォームロード時に以下のように書けばコントロール配列が出来上がります。

Dim i1 As Integer

For i1 = 1 To 3
txtText(i1) = New TextBox()

txtText(i1).Text = ""
txtText(i1).Size = New Size(100, 23)
txtText(i1).Location = New Point(30, i1 * 25)
Next

Me.Controls.AddRange(txtText)

このような感じです。
この他にも必要なプロパティの設定などは勿論行えます。
そして、最後に記述したAddRangeを設定しないとフォーム上に表示されないようです。
また、コントロール配列として追加したコントロールのイベントを取得したい場合は、

AddHandler txtText(i1).KeyDown, AddressOf Me.Ctrl_KeyDown

とすることで、KeyDownイベントを取得できます。